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雙軸位移平臺強健控制設計及雷射觸發策略
作者 盧彥名、蔡明祺
摘要 本論文討論雙軸雷射平臺加工時,在加減速區間所存在之雷射能量累積問題,並提出對伺服運動系統與雷射觸發系統,進行時間匹配設計達到所有加工區域中能量均勻分布。在伺服運動系統設計上,為了解決因裝配誤差或聯接軸承之剛性所造成的系統不確定性,本研究在設計速度控制器時,將基於H? 權重混合靈敏度設計問題,並結合迴路成形設計法的概念,使受控系統在不確性的影響下,仍可保持穩定並滿足設計者所需之響應規格。而針對位置輪廓控制策略,採取解耦合之控制架構,使各軸位置迴路符合鬆弛性能準則,即在各軸間有互相匹配的時間延遲,便可有效降低輪廓誤差。在雷射觸發系統設計上,若不希望雷射能量於加減速區有所累積,則輸出能量之大小須根據伺服移動速度作相對應的改變,同時利用伺服軸存在之延遲時間資訊作為調整雷射能量觸發之前置處理,便可使兩系統之響應進行匹配,以獲得良好的加工效果。
關鍵字 雙軸平臺、雷射、權重混合靈敏度設計、迴路成形設計、鬆弛性能準則、前饋控制