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雙自由度積層式超音波馬達之設計與實現
作者 李肇平、蔡明祺
摘要 智慧型手機等可攜式產品在近年來蓬勃的發展,這為可應用於可攜式產品的元件,提供了廣大的商機。超音波馬達由於結構適於微型化、低嗓音以及在小型化時的效率較其他致動器為高,因此極適合應用於可攜式產品。

本研究利用雙壓電晶片振動子結構設計超音波馬達,經由適當的電極及結構設計,使之具備二個自由度的運動方向。分別對基本單層型以及積層式壓電振動子超音波馬達進行了性能量測後,在400V/mm電場強度下,基本單層型雙壓電晶片超音波馬達振動子之驅動電壓為120V,最大推力3.0765N,最大速度87.75mm/s,最大效率為4.201%。而積層式雙壓電晶片超音波馬達振動子的驅動電壓則為24V,最大推力2.5782N,最大速度74.23mm/s,最大效率為11.633%。結果顯示積層式振動子有潛力應用於可攜式產品。
關鍵字 超音波馬達、壓電致動器、雙壓電晶片致動器、雙自由度、積層式、低電壓驅動