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新型壓電振動子之研發及其超音波馬達設計應用
作者 蕭仕偉、蔡明祺
摘要 近年馬達應用需求朝向微小化、精密化、多自由度化與低嗓音之設計,傳統電磁驅動馬達受限於致動原理,結構體積不易縮小。超音波馬達以獨特的驅動方式,比傳統電磁馬達,具有響應快速、低速大啟動扭矩且無聲的特點,適合應用於機器人關節、精密定位平台、醫學工程應用、微小組裝技術等領域,深具未來發展潛力。 本論文提出一創新型壓電振動子結構,最大的特色在於採用垂直的電極設置,於振動子內產生非對稱且不均勻的電場分佈,產生特殊振動模態雅動物體往復運動。實驗結果顯示此新型振動子有別於目前習知的超音波馬達振動子,具有較高的功率密度,且體積小、結構簡單,為一創新之設計,可彈性裝設應用於旋轉、線型、平面與球面等各種不同形式的超音波馬達設計。且具有單相驅動的特色,只要一組輸入訊號,即可變換馬達行進方向,簡化了驅動電路的複雜度,亦可採用多相驅動提升超音波馬達性能。
關鍵字 超音波馬達、壓電振動子、球型馬達、主動式滑軌